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压力开关传感器


     压力开关传感器是一种将压力转换成电流/电压的器件,可用于测量压力、位移等物理量。压力传感器的种类很多,其中硅半导体传感器因其体积小、重量轻、成本低、性能好、易集成等优点得到广泛的应用。硅压阻式传感器属于其中的一种,它是在硅片上用扩散或离子注入法形成四个阻值相等的电阻条,并将它们接成一个惠斯登电桥。当没有外加压力时,电桥处于平衡状态,电桥输出为零。当有外加压力时,电桥失去平衡而产生输出电压,该电压大小与压力有关,通过检测电压,即可得到相应的压力值。但这种传感器由于四个桥臂电阻不完全匹配而引起测量误差,零点偏移较大,不易调整。  

     Motorola公司生产的X型硅压力开关传感器则可以克服上述缺点。与惠斯登电桥不同,Motorola专利技术采用单个X型电阻元件,而不是电桥结构,其压敏电阻元件呈X型,因而称为X型压力开关传感器。该X型电阻是利用离子注入工艺光刻在硅膜片上,并采用计算机控制的激光修正技术,温度补偿技术,使MotorolaMPX系列压力开关传感器的精度很高,其模拟输出电压正比于输入的压力值和电源偏置电压,具有极好的线性度,且灵敏度高,长期重复性好。此系列中的MPX2100DP压力传感器是一种高精度硅压式压力传感器,本系统采用MPX2100DP作为压力开关传感器,可以很好地满足系统的要求,它具有如下特点:

    ①由于采用激光微调技术,使电桥零漂输出很小,一般小于±1mV

    ②传感器灵敏度较高,为40mV±1.5mV

    ③传感器由热敏电阻组成温度补偿网络,在-40℃~ /new/pdlistone/tech/+125℃范围内有较好的温度补偿效果,从而提高了传感器的精度;

    ④具有极好的线性度(±0.25%F.S); 

    ⑤有较宽的工作温度范围(-40℃~ /new/pdlistone/tech/+125℃);

    ⑥允许过载大(400%)。 
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